CFI60 Objectives
Nikon CFI60 物鏡系列 採用 Nikon 專利的 CFI60 光學系統，結合無限遠校正光學與 CF 系統的優勢，具備 60mm 視準距 (parfocal distance)，可在保持高數值孔徑 (NA) 的同時，延長工作距離。該系列物鏡提供清晰、高對比度與高解析度影像，廣泛應用於 半導體檢測、FPD/LCD 檢查、材料科學與精密成像。
60mm 視準距：提供靈活的系統配置，維持高 NA。
長工作距離設計：提升操作便利性，適用於工業檢測環境。
多樣化系列：涵蓋 Achromat、Apochromat、Economy、Deluxe 型。
LCD/FPD 專用：具備修正機制的特殊型號，專為 LCD 檢查設計。
高對比與高解析度：影像清晰銳利，適合科研與工業應用。
| 類型 | 型號 | 放大倍率 | NA | WD (mm) |
|---|---|---|---|---|
| Brightfield | CFI L Plan EPI (Achromat) | 2.5X | 0.075 | 8.80 |
| 40X | 0.65 | 1.00 | ||
| Brightfield | CFI LU Plan Apo EPI (Apochromat, Deluxe-type) | 150X | 0.95 | 0.30 |
| Brightfield | CFI LE Plan EPI (Achromat, Economy-type) | 5X | 0.10 | 31.00 |
| 10X | 0.25 | 13.00 | ||
| 20X | 0.40 | 3.60 | ||
| 50X | 0.75 | 0.50 | ||
| 100X | 0.90 | 0.31 | ||
| Brightfield with Correction Mechanism | CFI L Plan EPI CR (For LCD Inspection) | 20X | 0.45 | 10.90 – 10.00 |
| 50X | 0.70 | 3.90 – 3.00 | ||
| 100X | 0.85 | 1.20 – 0.85 | ||
| 100X | 0.85 | 1.30 – 0.95 |